1月25日,中科院南京天文仪器有限公司承担的国家重点研发计划子课题 “800mm平面干涉仪技术开发”通过专家组验收。
大口径平面镜面形精度直接影响各类光学系统制造精度。高精度大口径平面镜必须依靠平面面形检测技术才能得以研制。因此,大口径平面镜和异形孔径平面镜检测,一直是精密光学制造与天文技术领域的研究热点。如何实现大口径平面镜的高效快速高精度检测?最直接有效的技术路径是研制大口径平面干涉仪。
我国大口径平面干涉仪长期依赖进口,价格高昂且受制于外国。作为国内大口径光学测试设备的专业供应商和生产商,无论从解决国家战略科学仪器“卡脖子”难题的角度,还是从科研仪器国产化需求的角度,南京天仪启动研制“800mm口径平面干涉仪”都责无旁贷。为此,南京天仪联合南京理工大学于2018年5月启动项目研发。
“800mm平面干涉仪”是重大光学检测仪器,由光学系统、机械系统、电气系统、计算机数据处理系统等组成。光学设计部分保证干涉仪波面测试质量、频率传递能力;精密机械部分保证干涉仪标准光学元件的高精度面形质量、气浮移动和稳定可靠的调整;电路部分保证调整与信号采集过程的自动化;计算机软硬件部分保证图像采集与移相算法的同步通讯、控制及图像处理、波长调谐移相干涉、数据处理、波面分析、Zernike多项式等软件包的集成与结果输出。
以李金鹏博士为首的研发团队和南京理工大学团队紧密合作,攻克多项关键技术,于2021年12月完成项目研发。该设备实现了大口径平面镜的自动化测量,能排除人工判读或是复杂实验步骤对测量的干扰,检测效率与精度大幅提升。项目拥有完整的自主知识产权,技术完全自主可控。南京理工大学教授朱日宏评价道:“这台800mm平面干涉仪是当前国内国产化程度最高、口径最大的平面干涉仪,对于提高我国大口径光学检测能力具有重要意义”。
“800mm口径平面激光干涉仪”现场验收